honfusen@126.com
010-57468190
宏富信精密科技(北京)有限?公司?
HonFuSen Precision Technology (BeiJing) Co.,Ltd.
為顧客提供好的產品和專業服務
Excellent products and
satisfied service
NEWS?
新聞動態 DYNAMIC NEWS
搜索
現場動平衡儀成功應用中芯國際半導體公司
來源:
|
作者:mike
|
發布時間: 2021-03-31
|
913 次瀏覽
|
分享到:
在積體電路晶片生產中，對微振有較高要求的通常為光刻設備以及掃描電子顯微鏡提工精度保障。
所以對積體電路生產廠區微振動環境要求嚴格。
臺灣宏富信精密儀器應用中芯國際磨床和風機等設備，儀器對精密設備振動分析、故障檢測、動平衡調試等提供幫助。
如精密磨削砂輪動平衡和車間風機等設備降低振動、提升精度、減少噪音。
中芯國際集成電路製造有限公司領xian的集成電路晶圓代工企業之一，也是內地技術先進、
配套完善、規模大、跨國經營的集成電路製造企業集團，提供0.35微米到14納米不同技術節點的晶圓代工與技術服務。
風機轉子調試數據：從監測轉子的1、2、3、4四個點的位置來看。
2號點振動值最大17.861mm/s而且靠近轉子葉輪，這個位置適合動平衡調試。
2號點動平衡後的數值：
12.82mm/s
8.66mm/s
7.2mm/s
5.6mm/s
4.01mm/s
3.8mm/s
0.42mm/s
動平衡後振動值呈下降趨勢。
2號點動平衡後，在測試其他三個點位水準位振動都有改善降低。
